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集成电路芯片制造实用技术.pdf

时间:2020-04-27     ISBN:7111344582      侵权投诉        下一篇:维修电工基本技能训练.pdf
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作 者 :卢静主编

出版发行 : 北京:机械工业出版社 , 2011.08

ISBN号 :7-111-34458-2

页 数 : 214

丛书名 : 全国高等职业教育规划教材

原书定价 : 27.00

开本 : 26cm

主题词 : 集成电路-芯片-制造-高等职业教育-教材

中图法分类号 : TN405 ( 工业技术->无线电电子学、电信技术->微电子学、集成电路(IC)->一般性问题 )

内容提要:本书主要包括硅晶圆制程,氧化工艺,光刻工艺等方面的知识。

参考文献格式 : 卢静主编.集成电路芯片制造实用技术[M].北京:机械工业出版社,2011.08.

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