作 者 ：林少霖编
出版发行 : 上海：上海大学出版社 , 2011.06
ISBN号 ：978-7-81118-773-1
页 数 ： 382
原书定价 : 68.00
开本 : 21cm
主题词 : 半导体工艺-词典-日、汉
中图法分类号 : TN305-61 ( 工业技术->无线电电子学、电信技术->半导体技术->一般性问题 )
内容提要:本书收集了有关半导体(集成块)制造方面的技术用语，内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇，对研究和开发半导体制造技术、从事半导体(集成电路)制造的人员学习和阅读相关技术文献等具有一定的参考价值。
参考文献格式 : 林少霖编.日中中日半导体制造技术词典[M].上海：上海大学出版社,2011.06.