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日中中日半导体制造技术词典.pdf

时间:2020-05-25     ISBN:9787811187731        下一篇:自动化制造系统.pdf




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作 者 :林少霖编

出版发行 : 上海:上海大学出版社 , 2011.06

ISBN号 :978-7-81118-773-1

页 数 : 382

原书定价 : 68.00

开本 : 21cm

主题词 : 半导体工艺-词典-日、汉

中图法分类号 : TN305-61 ( 工业技术->无线电电子学、电信技术->半导体技术->一般性问题 )

内容提要:本书收集了有关半导体(集成块)制造方面的技术用语,内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇,对研究和开发半导体制造技术、从事半导体(集成电路)制造的人员学习和阅读相关技术文献等具有一定的参考价值。

参考文献格式 : 林少霖编.日中中日半导体制造技术词典[M].上海:上海大学出版社,2011.06.

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